Poliuretana untuk Pad Penggilap CMP

CMP, nama penuh Penggilap Mekanikal Kimia, ialah teknologi penggilap yang sangat popular yang menggabungkan pengisaran mekanikal yang kasar dan kakisan kimia cecair penggilap.
Hantar pertanyaan
Description/kawalan

Pembuatan kerepek dikenali sebagai permata mahkota industri moden dan juga merupakan industri mewah yang menjadi tumpuan China.

 

Walaupun bidang aplikasi bahan poliuretana tertumpu terutamanya dalam industri seperti penebat bangunan, perabot dan peralatan, kereta, kasut dan pakaian, terdapat juga bayangan bahan poliuretana dalam pembuatan cip - seperti pad penggilap CMP.

 

CMP dibangunkan berdasarkan penggilap kimia dan penggilap mekanikal, tetapi pada masa yang sama ia mengatasi kekurangan penggilap mekanikal tradisional dan penggilap kimia.

 

Peralatan CMP termasuk tiga modul utama: penggilap, pembersihan dan penghantaran. Semasa operasi, kepala penggilap menekan permukaan wafer untuk digilap pada pad penggilap kasar, dan mencapai perancangan global dengan bantuan kakisan cecair penggilap, geseran zarah, geseran pad penggilap, dsb.

 

Peralatan dan bahan habis guna yang digunakan dalam teknologi CMP termasuk: mesin penggilap, buburan penggilap, pad penggilap, peralatan pembersihan pasca-CMP, peralatan pengesanan titik akhir penggilap dan kawalan proses, peralatan rawatan dan ujian sisa, dsb.

 

Mesin penggilap, buburan penggilap dan pad penggilap adalah tiga elemen utama proses CMP. Prestasi mereka dan padanan bersama menentukan tahap kelancaran permukaan yang boleh dicapai oleh CMP. Dalam proses penggilap, dua bahan yang paling penting ialah cecair penggilap dan pad penggilap.

 

Pad penggilap CMP diperlukan untuk mempunyai rintangan kakisan yang baik, sifat hidrofilik dan mekanikal. Yang paling biasa dibuat daripada buih poliuretana selular tegar dengan corak alur nisbah aspek tinggi yang sempit. Poliuretana mempunyai keanjalan yang baik dan rintangan haus, dan boleh mengekalkan prestasi yang agak stabil di bawah tindakan pelelas yang berterusan. Pada masa yang sama, semasa proses penggilap, mikropori (sifat mekanikal dan sifat menyerap air berliang) pada permukaan pad penggilap poliuretana berbuih tegar boleh melembutkan dan mengasarkan permukaan pad penggilap, dan boleh menyimpan zarah kasar dalam cecair penggilap.

 

Liang mikro ini juga boleh mengumpul bahan penyingkiran pemprosesan, mengangkut cecair penggilap, dan memastikan kakisan kimia, yang bermanfaat untuk meningkatkan keseragaman penggilapan dan kecekapan penggilapan.

 

Cool tags: poliuretana untuk pad penggilap cmp, poliuretana China untuk pad penggilap cmp pengeluar, pembekal, kilang, Polyurethane ဝိသေသလက္ခဏာများ, Polyurethane စံနှုန်းများ, Polyurethane အသေးစိတ်အချက်အလက်များ, Polyurethane ကုန်သွယ်ရေး, Polyurethane နှစ်သိမ့်, Polyurethane စွမ်းဆောင်ရည်